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2H滑閥真空泵和2X旋片真空泵哪個真空度高？

2H滑閥真空泵和2X旋片真空泵哪個真空度高？
問 提問者：網友 2017-09-01
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滑閥泵和旋片泵是同原理不同結構的抽氣泵，它們都可以單獨使用。滑閥泵是專為抽低真空而設計，在低抽部分抽速很快是它的特點，最低壓強只能到1pa左右。旋片泵同樣可以完成滑閥泵的工作量，但是所用的時間相對較長，不過最低壓強可以到0.1pa左右。所以在抽高真空的設備中都使用旋片泵，或者先用滑閥泵低抽再用旋片泵高抽。 補充：為你這個問題，我專門去我們公司看了一下泵，可以肯定地告訴你旋片泵比滑閥泵的真空度要高。滑閥泵的極限壓力是1pa,而旋片泵的極限壓力是0.06pa。
回答者：網友
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